説明
This application note explains the process for cleaning the Televac® 7FC cold cathode and 7FCS cold cathode vacuum sensors that have been used in harsh environments or operated for extended periods in the 10-4 Torr or higher range.
指示
1.真空チャンバーからセンサーを取り出す。
2. Unscrew the bolts to expose the anode assembly.
3.アノードアセンブリをゆっくりと上に持ち上げて、本体から分離します。
4. Remove the copper gasket from the sensor.
5. Check the knife-edge on both the anode and the body to make sure they are in good condition.
6. Gently remove any contaminants from the anode using the scouring pad. For the 7FCS, be careful not to damage the starting aid.
7. Blast the body with glass beads.
8. After cleaning, blow out any residual glass beads or dust with dry nitrogen.
9. Install a new copper gasket in body.
10. Replace the anode assembly in the body.
11. Tighten bolts gradually moving from bolt to bolt to ensure uniform compression of the gasket.
12.真空チャンバーに再装着する。
13. Allow several hours for tube to degas when pumped down to high vacuum.
14.正しく洗浄し、組み立てれば、NISTトレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしでゲージ管を使用する準備が整います。
トレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしで使用できる。
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